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布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪(台阶仪)

推送日期:2023-07-08阅读:63

 

       1965年阶梯仪Dektak Ⅰ开售来说,现今有50这些年的发展壮大艰辛。顺利通过资源优化配置能力,的提升自主自主创新,Dektak系例阶梯仪己经来 到第九代,现阶段.我主要有俩种规格型号:桌面图标式DektakXT(图1),图纸兼容可到8寸;还有就是的一款是集成为防冻台一体机化的落地实施式DektakXTL,它的兼容图纸不错提高12寸(图2)。布鲁克第九代Dektak 产品设备在过来三十二年持续不断的的能力自主自主创新,达到大部分在使用潜在客户的肯定。

 

                  图1                                                                                         图2


台阶高度重现性低于 4 Å

       Dektak XT 是用到single-arch 来构思的检测器轮廓线条仪, single-arch 来构思及智慧网络元器件封装,有很大的加强了环保设备稳定的性,进步骤加强防爆特点。Dektak XT在量测斜坡相对超高去相对偏差上极具优质的展现,斜坡相对超高去相对偏差可高于4Å。用到 single-arch 结构设汁比先前的悬臂梁来构思愈发稳如泰山,大大减少了对受阻大环境能力的皮肤敏单纯,如声和抖动燥音。


方便的更换探针技术让一切变得轻松

        对常玩家议器现阶段,能尽快不累拆卸电极以自我调节多种技术设备应用是必需的。Dektak石阶仪的呼叫转移头和电极顺利通过强磁离心分离做好接,在电极拆卸辅助工具的互相配合下,拆卸电极简洁、方便快捷、易运行(图3)。DektakXT 新的针尖自行标定,排除任意潜藏的针尖拆卸/标定危险因素。这一个技术设备让任何不便并需时的钓鱼任务变好不累且尽快。为一定足够在使用的需求,Bruker 提供数据了的范围多的条件和买家自定义电极金桥铜业跨接线的截面积大小,收录使用于深灌溉渠测量方法的高径比针尖。

 

图3


LVDT:主流的微位移传感技术广泛应用于航空航天等领域

      成为探头式表皮面部轮廓仪体系化的配件—感测器器,Dektak XT采用了LVDT感测器器的原理,即Linear Variable Differential Transformer线型可变性差动干式变压器(图4),其强势还包括:无磨擦衡量、增加机器时间、不断提高分辩率、零位可重新性、心轴、经久经用经用、生态满足性、发送/伤害消毒。

 

图4


带机械臂的全自动传片台阶仪


       全白动型斜坡仪(cassette-to-cassette斜坡仪),将Bruker DektakXTL斜坡仪系统化和机械性传臂相运用(图5),保持了全白动下上片,实施几何图认别等功能表保持白动精确性位置(样品英文位置准确度在±52um),白动检查,数值白动效果和传上去,以减少人工客服电话成本和师粗差,可不可以保持75mm到300mm晶圆检查全白动化。为光电器件业内在工艺设计建设,的高质量切实保障与的高质量的控制操作这方面实施了升级优化。

 


图5

       阶段仪重点用做建材表皮的2D,3D公测方法,还能够 公测方法阶段宽度,表皮凹凸不平度;也也符合建材表皮基槽深浅的公测方法;是能够 在微電子,光电器件芯片及有机物光电器件芯片,月亮能、高色温亮光二管(LED)、OLED、ITO、微流控、中医学、建材完美等职业控制微米级表皮形貌公测方法。Dektak阶段仪公测方法塑料薄膜建材还能够 达标埃级初现性和1nm-1mm的公测方法使用范围。

图6

图7

 
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