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布鲁克Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆测试方面的应用

发布的期限:2023-07-29挑选:54

       自2011年起,德国进口12寸晶圆的投产故障 受到满足,德国进口晶圆入驻到其中一个迅猛發展的五代十国时期中。晶圆做为集成块的媒介,在当代网络世纪起着至关关键的使用,小到可控器、手机上,大到核工业各个领域,这类定位等都离没用晶圆。因此晶圆的工作艺是不是也完成规范取决了产品的优点缺点。下面本公司就为朋友们价绍Bruker Dektak-XT接触到式表面上轮廊仪在晶圆领域的测试仪app。

 


       Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪(台阶仪)作为Dektak系列第十代产品,经过50多年的更新升级及技术创新,目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备,有着众多的用户群体并得到好评。
①台阶高度重现性低于4Å
②主流的LVDT传感器技术

 


 

        晶圆在制作电路的流程中,主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合,在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。
光刻/沉积:光刻/沉积工艺中台阶高度的测试
蚀刻:蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试
抛光/研磨:抛光/研磨工艺中粗糙度的测试

 


 

在及以上测试测试中,斜坡仪都也可以尽快的的此类数据库。

 

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